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安科瑞泰SENpro光譜橢偏儀光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單，測量速度快，能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結合，可以輕易地確定單層膜和復合層疊膜的厚度和折射率。
安科瑞泰SENresearch 4.0光譜橢偏儀 SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm（深紫外）到3500 nm（近紅外）。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。
布魯克S8 TIGER Series 2 X射線熒光光譜儀無論是固體還是液體樣品，在工業環境中都能快速，符合人體工程學的安全處理樣品。
布魯克HD9800工業光學顯微鏡HD9800是專門用于硬盤行業磁頭滑塊測量的*的光學輪廓儀，用于對CCT和PTR的高速自動測量，監控其復雜的加工工藝是否正常。
布魯克ContourSP三維工業光學顯微鏡ContourSP大面板計量系統擁有十多年的包裝計量專業知識，是上一代SP型號的高密度互連PCB（HDI-PCB）基板的測量吞吐量的兩倍以上。ContourSP專為在制造過程中測量PCB板的每一層而設計，并具有許多*功能，可為半導體封裝行業提供高的生產性能，便利性，可靠性和吞吐量。
布魯克Contour Elite X 工業光學顯微鏡大樣本的Contour Elite X 3D光學輪廓儀將的測量功能與業界大視野和高保真彩色或單色成像上的垂直分辨率結合在一起。沒有其他度量衡系統可以提供非接觸式精度，吞吐量，操作員便利性和成像功能來解決如此廣泛的生產度量衡應用。
布魯克Contour Elite K 3D光學顯微鏡布魯克的Contour Elite K 3D光學顯微鏡為表面計量性能的設計和成本效率設定了新的行業標準。Contour Elite K具有出色的粗糙度和2D / 3D測量功能，高保真成像，以及業界的用戶友好界面，可在緊湊的系統中提供毫不妥協的計量和高保真成像。
布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡在*技術節點上，利用多圖案光刻技術對CMP提出了納米工藝控制要求，以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞新一代的AFM掃描儀構建，可在65μmX / Y掃描范圍內提供小于10納米的改進平面度。
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